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一、产品概述——紧凑、灵活、强大

Sensofar S lynx是款为工业和研究所设计的全新非接触式3D表面光学轮廓仪，用于工业和科研应用，其设计定位Ψ 是个紧凑和灵活的系统。它设计简洁、用途多样。光学轮廓仪Slynx能够测量不同的材质▃，结构，表●面粗糙度和波度，几↓乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌,测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于体，确保了其卓越的性〓能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

SENSOFAR公司作为干涉共焦显微镜的发明者，开创性地将共聚焦和ζ　干涉技术结合在起，无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共【聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共◇聚焦显微镜和干涉仪。

SENSOFAR在1999年创立之初，就是以三维表面形貌测量为主要研发方向，通过持续不断地研发和申请利技术，在全球范︽围内创造了数百种表面形貌测量应用产品，积累了〖丰富的技术实力。

二、主要应用

半导体晶圆应用、汽车零部件、消费电子、能源、材料表面、微电子、LED、微体古生物∩学、光学镜片加工、模具加工、钟表制造、腐蚀表面结构、摩擦学表面结构。

三、主要特点及功▅能

1）  共聚焦

共聚焦技◥术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的①镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率㊣达70°（粗糙表ξ面达86°）。利的共聚焦算法保证Z轴测→量重复性在纳米范畴。

2） 干涉

白光垂直扫描干涉（VSI）是种广泛用于测量表面特性（如形貌或透明薄膜结构）的功能强大的技术。它适合※测量从光滑到适度粗糙的表面，无论物镜的NA或者放大倍数变化，均可以提供纳米的垂直分辨率。

3） 多焦面叠↙加

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足¤低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（大86°）。此功能对工件◤和模具测量特别有用。

4） 真彩色共聚焦图像

每个像素点都能还原真实的色彩，在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明，并将三张单色的图片还原成一幅高分辨率ω的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法，用这种技术获得的图片色彩保真度和还原性更胜一筹。

四、主要优势：

1） 实时图像     

SENSOSCAN为您呈现前所未有的共聚焦实时图①像。我们的图像质量和速度进一步提升，在共聚焦照明模式下可达9帧/秒，在明场照明模式下高达30帧/秒。与此同时，还有多种实时图像模式选择。

2） 丰富的参数设定◣  

通过调整参数可优化测量步骤。例如，优化自动对焦设定能够减少测量时间，采用多级的照明和优化扫描范围可观察复↑杂的3D形貌。优化后的测量参数可存储为单点（SMR）或多点（MMR）程序测量。

3） 一键3D测量   

用户只需找到测量位置 ， 点击3D测量按钮，SensoSCAN的软件将自动调整照明亮度，自动对焦，执行较佳的测量模式，将精准的测『量结果于弹指间为您呈现。

4） 交互式的3D和2D视图提供多样的分析      

演示及渲染选项。内置测量软件有测量尺寸，角度，距离，直径，标注∑　特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解决各种分析任务的理想软件。您还可选择以下两套高阶软件来完成更复杂的分☆析SensoMAP和SensoPRO。

5） 进阶分析

更丰富的进阶分析功能可进行数据补偿，形状去除（平面，球形，不规则形状▼），滤波分析，剪裁和提取轮廓等。用户可生成分析模版保证分析的连续性和一致性。

1、明场

其他可选物ㄨ镜: 水浸物镜、超长工作距离物镜、加长工作距离物镜、焦深调节♀环物镜

1 最大视场◤系2/3” 摄像头及◥光学0.5X。2 表面的像素大小。3 由瑞利准则内衍射极限的一半计算所得ぷ并用白色LED照明。干涉镜头下，像素分辨率可能制约了光学▽分辨率。 4 针对共聚焦，扫描21 层。5 根据】比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。6 光滑表面，斜度高达86º 的粗∩糙表面。

2、干涉

其他可选物ㄨ镜: 可变反射率，Michelson、Mirau 及Linnik

1 最大视场◤系2/3” 摄像头及光学0.5X。2 表面的像素大小。3 由瑞利准则内衍射极限的一半计算所得并■用白色LED照明。干涉镜头下，像素分辨率可能制约了光学分辨率。 4 扫描范围10μm。5 根据】比较连续两次测量校准镜片得到的差异计算系统噪音值。用PSI，防震开启，10 个相位︻平均值。在控温房间，用Piezo支架可实现0.01 nm。6 光滑表面，斜度高达86º 的粗∩糙表面。

简洁 . 灵动 . 强劲.

Slynx是一□　款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D光学轮廓仪。它设计简洁、用途多样。Slynx能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的高端形貌测量应用。Sensofar的核心专利▲是将3种测量方式融于一体，确＠保了其完美的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

三合一技术

1、共聚焦技术

共聚焦技术可用于测量各类样◢品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔▓径的物镜时，共聚焦在光滑表╳面测量斜率达70（粗糙表面达》86）。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

2、干涉技术

共聚焦技术≡可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时，共聚焦在光◥滑表面测量斜率达70（粗糙表面达86）。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

3、多焦面叠加技术

共聚焦技术可用于测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率，可达0.09μm,利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的物镜时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70（粗糙表面达86）。专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。